Bộ chuyển đổi áp suất Wika WUC-10, WUC-15 và WUC-16 siêu độ tinh khiết cao dùng để đo áp suất khí siêu tinh khiết trong ngành bán dẫn, hiển thị phẳng và quang điện. Chúng có thiết kế nhỏ gọn, tuân thủ SEMI F20, với các bộ phận tiếp xúc chất lỏng làm từ thép không gỉ 316L đánh bóng điện hóa, cảm biến màng mỏng đặc biệt. Đặc biệt phù hợp cho khu vực nguy hiểm với chứng nhận an toàn tăng cường (Ex ec) và an toàn nội tại (Ex ic) theo ATEX/IECEx Zone 2, chống cháy nổ, độ kín khít cao, ổn định EMC tốt, và kiểm tra nghiêm ngặt từng sản phẩm dưới điều kiện phòng sạch. WUC-15/16 nổi bật với tính tự thoát nước tốt.
Ứng dụng của bộ chuyển đổi áp suất Wika WUC-10, WUC-15 và WUC-16
- Ngành bán dẫn: Đo áp suất khí siêu tinh khiết trong sản xuất vi mạch.
- Công nghiệp hiển thị phẳng và quang điện: Kiểm soát áp suất trong môi trường yêu cầu độ tinh khiết cao.
- Khu vực nguy hiểm (Zone 2): Sử dụng trong môi trường dễ cháy nổ nhờ chứng nhận Ex ec và Ex ic.
- Hệ thống khí đặc biệt: Đảm bảo đo chính xác, an toàn trong các hệ thống khí siêu sạch.
Thông số kỹ thuật
| Non-linearity per BFSL per IEC 61298-2 | ||
| For measuring ranges > 2 bar | ≤ 0.1 % of span | |
| For measuring ranges ≤ 2 bar | ≤ 0.15 % of span | |
| Accuracy | → See „Max. measured error“ below | |
| Max. measured error | ||
| RSS (root sum squares) | For measuring ranges ≤ 2 bar | ≤ 0.4 % of span |
| For measuring ranges > 2 bar | ≤ 0.2 % of span | |
| Per IEC 61298-2 | For measuring ranges ≤ 2 bar | ≤ 1 % of span |
| For measuring ranges > 2 bar | ≤ 0.5 % of span | |
| Zero point setting | ||
| Current output | -5 … +3.5 % of span (via potentiometer) | |
| Voltage output | -2 … +5 % of span (via potentiometer) | |
| Non-repeatability per IEC 61298-2 | ≤ 0.12 % of span | |
| Mean temperature coefficient at -20 … +80 °C [-4 … +176 °F] (actively compensated) | ||
| Zero point | ≤ 0.1 % of span/10 K | |
| Span | ≤ 0.15 % of span/10 K | |
| Long-term drift per IEC 61298-2 | ||
| For measuring ranges ≤ 2 bar | ≤ 0.4 % of span | |
| For measuring ranges > 2 bar | ≤ 0.25 % of span, at reference conditions | |
| Reference conditions | Per IEC 61298-1 | |
Tham khảo catalog ở đây để biết thêm về thông số kỹ thuật chi tiết: Catalog Bộ chuyển đổi áp suất Wika WUC-10, WUC-15 và WUC-16.
Các tính năng đặc biệt
- Thiết kế nhỏ gọn.
- Phê duyệt ATEX và IECEx vùng 2.
- Bảo vệ chống xâm nhập IP 67 (NEMA 4) với biến trở số không “truy cập bên cạnh”.
- Độ ổn định EMC tuyệt vời.
- Bù nhiệt độ chủ động.
Điểm khác nhau
- WUC-10: Thể tích chết ~1.5 µl, không tối ưu tự thoát nước, phù hợp đo áp suất chung.
- WUC-15: Thể tích chết <1 µl, tự thoát nước tốt, cảm biến loại bỏ nhiễu mối hàn, lý tưởng cho môi trường ẩm.
- WUC-16: Tương tự WUC-15, thể tích chết <1 µl, tự thoát nước tốt, có thể khác ở kết nối quá trình.
Liên hệ mua hàng và hỗ trợ tư vấn kỹ thuật
- CÔNG TY TNHH KỸ THUẬT QBS
- MST : 0318810101
- HOTLINE : 0939 487 487
- EMAIL : info@qbsco.vn
