Cảm biến áp suất Wika WUD-20, WUD-25, WUD-26 là dòng cảm biến áp suất siêu tinh khiết (UHP) nhỏ gọn, dùng để đo áp suất chính xác cao (0.15% RSS) cho khí siêu sạch trong ngành bán dẫn, màn hình phẳng và quang điện. Chúng kết hợp công nghệ cảm biến tiên tiến với đầu ra analog, bù nhiệt độ chủ động, hiển thị LED xoay có thể đọc dễ dàng, và tùy chọn 2 tiếp điểm chuyển mạch lập trình cho giám sát/điều khiển. WUD-20 là loại cơ bản, WUD-25 (flow-through) và WUD-26 (surface mount) chịu lực xoắn lắp đặt tốt, đảm bảo độ ổn định dài hạn và an toàn trong môi trường biến đổi nhiệt độ.
Ứng dụng của từng Model
- WUD-20: Cảm biến áp suất cơ bản, dùng để đo áp suất khí siêu sạch trong các hệ thống sản xuất bán dẫn, màn hình phẳng, và quang điện, nơi yêu cầu độ chính xác cao và hiển thị tại chỗ.
- WUD-25 (Flow-through): Thiết kế dòng chảy xuyên qua, phù hợp cho các ứng dụng cần đo áp suất liên tục trong đường ống dẫn khí siêu sạch, đảm bảo độ tinh khiết và chịu lực xoắn tốt khi lắp đặt.
- WUD-26 (Surface Mount): Lắp đặt bề mặt, lý tưởng cho các hệ thống compact trong sản xuất bán dẫn, nơi cần tích hợp trực tiếp vào bề mặt thiết bị, đảm bảo độ ổn định và an toàn trong môi trường nhiệt độ biến đổi.
Cả ba model đều hỗ trợ giám sát/điều khiển với hiển thị LED và tùy chọn tiếp điểm chuyển mạch.
Thông số kỹ thuật
| WUD-20, WUD-25, WUD-26 | WUD-20, WUD-25 | ||||||||||||
| Measuring range | psi | 30 | 60 | 100 | 160 | 250 | 350 | 500 | 1000 | 1500 | 2000 | 3000 | 5000 |
| bar | 2 | 4 | 7 | 11 | 17 | 25 | 36 | 70 | 100 | 145 | 225 | 360 | |
| Overload safety | psi | 120 | 120 | 210 | 320 | 500 | 750 | 1100 | 2100 | 3000 | 4200 | 6600 | 10000 |
| Burst pressure | psi | 1800 | 1800 | 2200 | 2600 | 4800 | 6200 | 7400 | 8000 | 10500 | 10500 | 10500 | 10500 |
| Other measuring ranges and units (e. g. MPa, kg/cm²) on request | |||||||||||||
| Absolute pressure: 0 … 2 bar to 0 … 60 bar | |||||||||||||
| Vacuum pressure: -1 … 1 bar to -1 … 250 bar | |||||||||||||
| Measuring principle | Metal thin-film sensor | ||||||||||||
| Materials | |||||||||||||
| Wetted | Process connection: 316L stainless steel, according to SEMI F20 (option: 316L VIM/VAR) | ||||||||||||
| Sensor: 2.4711 / UNS R30003 | |||||||||||||
| Case | Lower body: 304 SS | ||||||||||||
| Plastic components: PC/PBT | |||||||||||||
| Keyboard: TPE | |||||||||||||
| Display window: PC | |||||||||||||
| Inboard helium leak test | < 1 x 10-9 mbar l/sec (atm STD cc/sec) per SEMI F1 | ||||||||||||
| Surface finish | Electropolished, typical Ra ≤ 0.13 µm (RA 5); max. Ra ≤ 0.18 µm (RA 7), per SEMI F19 | ||||||||||||
| Dead volume | WUD-20 < 1.5 cm³ | ||||||||||||
| WUD-25 < 1 cm³ | |||||||||||||
| WUD-26 < 1 cm³ | |||||||||||||
| Permissible medium | Special gas, vapour, liquid | ||||||||||||
| Power supply U+ | DC 10 … 30 V (with output signal 4 … 20 mA and DC 0 … 5 V) | ||||||||||||
| DC 14 … 30 V (with output signal DC 0 … 10 V) | |||||||||||||
| Output signal and maximum load | 4 … 20 mA, 3-wire, RA ≤ (U+ – 10 V) / 0.02 A | ||||||||||||
| DC 0 … 5 V, 3-wire, RA > 5 kΩ | |||||||||||||
| DC 0 … 10 V, 3-wire, RA > 10 kΩ | |||||||||||||
| Power Pmax | 1 W | ||||||||||||
| Current consumption | max. 50 mA | ||||||||||||
| Total current consumption | max. 250 mA (including switching current) | ||||||||||||
| Adjustability of zero point | -3.5 … +3.5 % of span (via potentiometer) current output signal | ||||||||||||
| -2.0 … +3.5 % of span (via potentiometer) current output signal | |||||||||||||
| Signal response (10 … 90 %) | ≤ 300 ms | ||||||||||||
| Switch points | Individually adjustable via external control keys | ||||||||||||
| Type | Transistor switching output NPN | ||||||||||||
| Quantity | 1 or 2 | ||||||||||||
| Function | Normally open, normally closed, on, of | ||||||||||||
| Switching current | SP1 / SP2: 100 mA | ||||||||||||
| Accuracy | ≤ 0.5 % of span | ||||||||||||
| Display | |||||||||||||
| Version | 7-segment LED, red, 4-digit, height 8 mm, 270° rotatable | ||||||||||||
| Accuracy | ≤ 1.0 % of span ±1 digit | ||||||||||||
| Update | 0.2 s / 0.5 s / 1 s / 5 s / 10 s / 60 s (adjustable) | ||||||||||||
| Accuracy | ≤ 0.15 % of span (≤ 0.4 with measuring ranges ≤ 2 bar) RSS (root sum squares) | ||||||||||||
| ≤ 0.3 1) (≤ 0.6 1) with measuring ranges ≤ 2 bar) | |||||||||||||
| Non-linearity | ≤ 0.1 % of span (≤ 0.15 with measuring ranges ≤ 2 bar) BFSL per IEC 61298-2 | ||||||||||||
| Hysteresis | ≤ 0.14 % of span | ||||||||||||
| Non-repeatability | ≤ 0.12 % of span | ||||||||||||
| Stability per year | ≤ 0.25 % of span (typical) at reference conditions (≤ 0.4 with measuring ranges ≤ 2 bar) | ||||||||||||
Tham khảo catalog ở đây để biết thêm về thông số kỹ thuật chi tiết: Catalog Cảm biến áp suất Wika WUD-20, WUD-25, WUD-26.
Các tính năng đặc biệt
- Đo áp suất có độ chính xác cao 0,15% RSS.
- Độ ổn định lâu dài tuyệt vời.
- Khử nhiễu tín hiệu và che chắn.
- Đo áp suất tham chiếu chân không.
- Bù nhiệt độ chủ động.
Điểm khác nhau của từng Model
| WUD-20 | Loại cơ bản, thiết kế tiêu chuẩn. |
| Phù hợp cho đo áp suất khí siêu sạch trong các ứng dụng chung. | |
| Không có tính năng chuyên biệt về lắp đặt hay dòng chảy. | |
| WUD-25 (Flow-through) | Thiết kế dòng chảy xuyên qua, cho phép khí đi qua cảm biến. |
| Tối ưu cho các hệ thống đường ống cần đo áp suất liên tục mà vẫn duy trì độ tinh khiết. | |
| Chịu lực xoắn tốt khi lắp đặt. | |
| WUD-26 (Surface Mount) | Thiết kế lắp đặt bề mặt, tích hợp trực tiếp lên thiết bị. |
| Lý tưởng cho các hệ thống compact, không gian hạn chế trong sản xuất bán dẫn. | |
| Tăng cường độ ổn định trong môi trường nhiệt độ thay đổi. |
Liên hệ mua hàng và hỗ trợ tư vấn kỹ thuật
- CÔNG TY TNHH KỸ THUẬT QBS
- MST : 0318810101
- HOTLINE : 0939 487 487
- EMAIL : info@qbsco.vn
