Bộ điều khiển lưu lượng khối (MFC)/(MFM) Type 8744
| Tên sản phẩm | Bộ điều khiển lưu lượng khối (MFC)/ (MFM) |
| Model | 8744 |
| Thương hiệu | Burkert |
| Xuất xứ | Đức |
| Phân phối | Công Ty TNHH Kỹ Thuật QBS |
| Xem catalog sản phẩm | Catalog Bộ điều khiển lưu lượng khối (MFC)-đồng hồ đo lưu lượng khối (MFM) Type 8744 |
Mô tả
Bộ điều khiển lưu lượng khối (MFC)/(MFM) Type 8744 thích hợp để điều khiển hoặc đo các loại khí ăn mòn, hỗn hợp khí và trong lĩnh vực ứng dụng cho khí thay đổi. Cảm biến mao dẫn nhiệt, với các phần tử cảm biến không tiếp xúc với chất lỏng, được sử dụng cho mục đích này. Điều này cũng cho phép dễ dàng chuyển đổi sang loại khí cần đo. Các bộ phận tiếp xúc với chất lỏng được làm bằng thép không gỉ chất lượng cao và vật liệu làm kín FFKM cho khả năng chống ăn mòn hóa học cao. Biến thể MFC đạt được độ chính xác điều khiển cao nhờ sử dụng công nghệ van tỷ lệ Bürkert và bố trí lỗ van phù hợp với ứng dụng.
Ứng dụng của Type 8744
-
- Ngành bán dẫn: Kiểm soát khí chính xác trong lắng đọng màng mỏng (CVD, PVD), etching, ion implant, xử lý wafer.
- Phủ bề mặt và xử lý vật liệu: Điều khiển khí bảo vệ hoặc phản ứng trong sản xuất kim loại, kính, phủ PVD.
- Trộn khí và pha khí: Tạo hỗn hợp khí chính xác cho welding, laser cutting, hoặc quy trình công nghiệp khác.
- Quy trình sinh học và lên men: Cung cấp khí O₂, CO₂, N₂ chính xác cho nuôi cấy tế bào, đảm bảo điều kiện tái lập.
- Đóng gói và bảo vệ khí: Kiểm soát khí trơ trong máy đóng gói thực phẩm hoặc dược phẩm để kéo dài hạn sử dụng.
- Phân tích và phòng thí nghiệm: Đo lường khí trong gas chromatography, mass spectrometry, hoặc lấy mẫu khí.
- Hóa chất và dược phẩm: Xử lý khí aggressive, kiểm soát phản ứng, hoặc đốt cháy tối ưu (burner control).
Thông số kỹ thuật cơ bản
| Thông số | Giá trị |
| Phạm vi lưu lượng danh nghĩa (Qₙ) | 0.01 – 100 lₙ/min (tham chiếu N₂) |
| Độ chính xác đo | ±0.8% giá trị đo ±0.3% đầy thang (FS) |
| Độ lặp lại | ±0.1% FS |
| Tỷ lệ turndown | 1:50 (cao hơn tùy chọn) |
| Thời gian đáp ứng (t95) | < 2 giây |
| Áp suất hoạt động tối đa | MFM: 10 bar; MFC: tùy orifice van |
| Nhiệt độ môi chất | -10 °C … +50 °C |
| Nhiệt độ môi trường | -10 °C … +40 °C (cao hơn tùy chọn) |
| Vật liệu tiếp xúc môi chất | Thép không gỉ (316L), FFKM, PCTFE |
| Van điều khiển (MFC) | Normally closed, DN 0.05–4 mm, Kvs 0.00006–0.32 m³/h |
| Nguồn điện | 24 V DC, công suất 1–18 W (tùy phiên bản) |
| Giao tiếp | büS/CANopen, PROFIBUS DPV1, analog |
| Kết nối cổng | G ¼, NPT ¼, VCR®, compression fitting, clamp (tùy chọn) |
| Độ bảo vệ | IP65 |
| Trọng lượng | 800–1600 g (tùy phiên bản MFC/MFM và lưu lượng) |
Tham khảo Catalog chi tiết ở đây: Catalog Bộ điều khiển lưu lượng khối (MFC)/(MFM) Type 8744
Nguyên lý hoạt động của Type 8744
-
- Một phần nhỏ lưu lượng khí được dẫn qua ống mao quản (capillary tube) nhờ chênh lệch áp suất từ phần tử laminar flow.
- Ống mao quản được gia nhiệt, có hai cảm biến nhiệt độ ở upstream và downstream.
- Khi khí chảy, nhiệt bị mang theo downstream → tạo chênh lệch nhiệt độ (hoặc công suất gia nhiệt cần duy trì để giữ ΔT không đổi).
- Chênh lệch này tỷ lệ thuận với lưu lượng khối (mass flow) trực tiếp, không phụ thuộc áp suất/nhiệt độ.
Ưu điểm nổi bật
-
- Phạm vi lưu lượng rộng: 0.01–100 lₙ/min (N₂), turndown ratio 1:50 (cao hơn tùy chọn).
- Độ chính xác & lặp lại cao: ±0.8% MV ±0.3% FS; repeatability ±0.1% FS; settling time <2s.
- Chịu khí aggressive: Cảm biến non-wetted, vật liệu thép không gỉ + FFKM/PCTFE.
- Chuyển đổi khí dễ dàng: User-friendly gas conversion, không cần hiệu chuẩn lại.
Liên hệ mua hàng và hỗ trợ tư vấn kỹ thuật
-
- CÔNG TY TNHH KỸ THUẬT QBS
- MST : 0318810101
- HOTLINE : 0939 487 487
- EMAIL : info@qbsco.vn
Sản phẩm tương tự
Cảm biến Burkert
Lưu lượng kế điện từ Type 8041
Cảm biến Burkert
Lưu lượng kế kiểu cánh quạt Type 8036
Cảm biến Burkert
Lưu lượng kế bánh xe guồng Type S030
Cảm biến Burkert