Bộ điều khiển lưu lượng khối MFC/MFM Type 8743
| Tên sản phẩm | Bộ điều khiển lưu lượng khối MFC/MFM |
| Model | 8743 |
| Thương hiệu | Burkert |
| Xuất xứ | Đức |
| Phân phối | Công Ty TNHH Kỹ Thuật QBS |
| Xem catalog sản phẩm | Catalog Bộ điều khiển lưu lượng khối MFC-MFM Type 8743 |
Mô tả
Bộ điều khiển lưu lượng khối MFC/MFM Type 8743 thích hợp để điều khiển hoặc đo các loại khí ăn mòn, hỗn hợp khí và trong lĩnh vực ứng dụng cho khí thay đổi. Cảm biến mao dẫn nhiệt, với các phần tử cảm biến không tiếp xúc với chất lỏng, được sử dụng cho mục đích này. Điều này cũng cho phép dễ dàng chuyển đổi sang loại khí cần đo. Các bộ phận tiếp xúc với chất lỏng được làm bằng thép không gỉ chất lượng cao và vật liệu làm kín FFKM cho khả năng chống ăn mòn hóa học cao. Biến thể MFC đạt được độ chính xác điều khiển cao nhờ sử dụng công nghệ van tỷ lệ Bürkert và bố trí lỗ van phù hợp với ứng dụng. MFC có thể được triển khai với tổn thất áp suất thấp theo yêu cầu, nhờ sự đa dạng của các lỗ van có sẵn.
Ứng dụng của Bộ điều khiển lưu lượng khối MFC/MFM Type 8743
-
- Công nghiệp bán dẫn: Kiểm soát chính xác khí phản ứng trong quy trình lắng đọng màng mỏng (PVD/CVD), khắc plasma, cấy ion và làm sạch wafer.
- Xử lý bề mặt và phủ lớp: Điều khiển khí trợ giúp trong cắt laser, hàn (welding), phun phủ (coating) và xử lý nhiệt kim loại/thủy tinh.
- Quy trình lên men sinh học (fermentation/biotechnology): Cung cấp khí chính xác cho bioreactor, kiểm soát oxy/CO₂ trong nuôi cấy tế bào.
- Công nghiệp hóa chất và dược phẩm: Đo lường/kiểm soát khí ăn mòn trong phản ứng hóa học, sản xuất thuốc và quy trình yêu cầu độ tinh khiết cao.
- Đốt cháy và tối ưu hóa năng lượng: Điều chỉnh tỷ lệ khí nhiên liệu-không khí trong lò đốt, burner để tăng hiệu suất và giảm phát thải.
- Máy đóng gói và chiết rót: Cung cấp khí bảo vệ (protective gas) để tránh oxy hóa sản phẩm thực phẩm/dược phẩm.
Thông số kỹ thuật cơ bản
| Thông số | Giá trị |
| Phạm vi lưu lượng danh nghĩa (Qₙ) | 0.01 – 100 lₙ/min (tham chiếu N₂) |
| Độ chính xác đo | ±0.8% giá trị đo + ±0.3% full scale (sau warm-up ≥30 phút) |
| Độ lặp lại (Repeatability) | ±0.1% full scale |
| Tỷ lệ turn-down | 1:50 (cao hơn tùy yêu cầu) |
| Áp suất làm việc | MFM: max. 10 bar(g); MFC: tùy van và khí (thường ≤10 bar) |
| Nhiệt độ môi chất | -10 °C … +50 °C |
| Nhiệt độ môi trường | -10 °C … +40 °C (cao hơn tùy yêu cầu) |
| Thời gian đáp ứng (t95) | < 2 giây |
| Van tỷ lệ (MFC) | Normally closed, DN 0.05 – 4 mm, Kvs 0.00006 – 0.32 m³/h |
| Điện áp nguồn | 24 V DC (±10%) |
| Công suất tiêu thụ | MFM: 1–2 W; MFC: max. 3–18 W (tùy van) |
| Vật liệu tiếp xúc môi chất | Thép không gỉ 316L, FFKM (hoặc FKM/EPDM), PCTFE (cho DN nhỏ) |
| Giao tiếp | Analog (4-20mA, 0-10V,…), Industrial Ethernet, Modbus RTU, büS |
| Kết nối khí | G/NPT ¼, VCR ¼, clamp, compression fitting (tùy chọn) |
| Cấp bảo vệ | IP20 (IP65 cho Type 8744) |
Tham khảo Catalog chi tiết ở đây: Catalog Bộ điều khiển lưu lượng khối MFC/MFM Type 8743
Nguyên lý hoạt động của Bộ điều khiển lưu lượng khối MFC/MFM Type 8743
Thiết bị sử dụng cảm biến nhiệt mao quản (thermal capillary sensor) với nguyên lý bypass (phân kênh) và không tiếp xúc trực tiếp (non-wetted):
-
- Dòng khí chính chảy qua kênh chính có laminar flow element tạo chênh lệch áp nhỏ.
- Một phần nhỏ khí được bypass vào ống mao quản (capillary tube) làm kênh cảm biến.
- Ống mao quản được gia nhiệt (thường có cuộn dây sưởi và 2 cảm biến nhiệt độ upstream/downstream).
- Khi khí chảy qua, nhiệt bị mang theo theo hướng dòng chảy, làm thay đổi sự phân bố nhiệt độ (nhiệt độ downstream cao hơn upstream).
- Lưu lượng khối tỷ lệ thuận với sự chênh lệch nhiệt độ này (hoặc công suất gia nhiệt cần thiết để giữ nhiệt độ không đổi).
- Đo trực tiếp lưu lượng khối (mass flow), độc lập với áp suất và nhiệt độ.
Ưu điểm nổi bật
-
- Phạm vi lưu lượng rộng: 0.01 – 100 lₙ/min (N₂), turn-down ratio cao (1:50).
- Độ chính xác & lặp lại cao: ±0.8% đo + ±0.3% FS, repeatability ±0.1% FS.
- Phù hợp khí ăn mòn: Vật liệu stainless steel + FFKM, cảm biến thermal capillary không tiếp xúc trực tiếp.
- Chuyển đổi khí dễ dàng: User-friendly gas conversion nhờ cảm biến đo trực tiếp mass flow.
Liên hệ mua hàng và hỗ trợ tư vấn kỹ thuật
-
- CÔNG TY TNHH KỸ THUẬT QBS
- MST : 0318810101
- HOTLINE : 0939 487 487
- EMAIL : info@qbsco.vn
Sản phẩm tương tự
Cảm biến Burkert
Cảm biến lưu lượng điện từ Type S055
Cảm biến Burkert
Cảm biến lưu lượng điện từ Type S056
Cảm biến Burkert
Lưu lượng kế kiểu cánh quạt Type 8032
Cảm biến Burkert